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震动是影响测量机精度和稳定性的主要因素之一，要使得三坐标测量机能够保证足够的精度，就需要为测量机创造一个合适的环境。
三坐标测量机若安装所在处受振动影响较大时，用户可以选择适合于它的振动隔离系统。出发点是由制造商提供的机器所能承受的高振动水平，第二步是把这个信息和安装坐标测量机所在地的坏的振动特性关连起来，在大多数情况下振动是稳定状态或引入的振动或冲击。如果要求测量机达到规范的指标，必须知道测量机安装地振动性质和幅度的细节。
振动的观察可以了解振动的幅度和频率，把这些数据与制造商所允许地面振动的极限值相比较，于是可以正确的选择隔离系统以减少地面振动传递到坐标测量机操作环境中去。
对坐标测量机常应用的隔离设备包括弹性垫(橡皮)，螺旋弹簧和气动隔离系统，在测量机应用隔离系统前应当研究制造商提供的减振器特性，应当注意到在应用隔离器的同时亦可以用地基或惯性质量来增加系统的稳定性或机器基础的附加刚性和支持。
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